周博士於2015年3月6日獲委任為本公司董事長、執行董事。周博士擁有電子科技大學管理學碩士學位及華中師範大學經濟學博士學位。周博士在工業和信息化領域有逾三十年的經濟運行調節、管理工作經驗。出任現職前，周博士在工業和信息化部工作，曾任總經濟師、財務司司長等職，在此之前，彼曾於信息產業部、電子工業部、機械電子工業部的不同部門和國營東光電工廠工作。周博士現任中國電子信息行業聯合會副會長兼秘書長、中國半導體行業協會理事長、雲南南天電子信息產業股份有限公司（深圳證券交易所上市公司：000948）獨立董事、青島海信電器股份有限公司（上海證券交易所上市公司：600060）獨立董事。周博士亦為本公司若干附屬公司之董事。

趙博士，於2017年10月16日獲委任為本公司執行董事，於2017年5月10日獲委任為首席執行官(現為聯合首席執行官)。趙博士於2010年10月加入中芯國際，2013年4月獲委任為本公司首席運營官兼執行副總裁。 於2013年7月, 趙博士獲委任為本公司在北京成立的下屬合資公司中芯北方集成電路製造（北京）有限公司總經理。趙博士在北京清華大學無線電電子學系獲得工程學士學位和博士學位，在美國芝加哥大學商學院獲得工商管理碩士(MBA)學位；擁有25年集成電路技術研發和工業生產經驗。自2016年11月起，趙博士亦擔任在上海證券交易所上市的浙江巨化股份有限公司（股票代碼：600160）董事會的獨立董事。

梁孟松博士，於2017年10月16日獲委任為本公司聯合首席執行官兼執行董事。梁博士畢業於美國加州大學伯克利分校電機工程及電腦科學系並取得博士學位。梁博士在半導體業界有着逾三十四年經歷，從事儲存器以及先進邏輯製程技術開發，擁有逾450項半導體專利，曾發表技術論文350餘篇。梁博士是電機和電子工程師學會院士。

高永崗博士由二零零九年起出任非執行董事，自二零一三年六月十七日起獲委任為本公司的戰略規劃執行副總裁，並已被調任為執行董事。他自二零一四年二月十七日起獲委任為本公司首席財務官。高博士是本公司7間附屬公司中芯國際集成電路製造（上海）有限公司、中芯國際集成電路製造（北京）有限公司、中芯國際集成電路製造（天津）有限公司、中芯北方集成電路製造（北京）有限公司、中芯國際集成電路製造（深圳）有限公司、中芯國際控股有限公司及中芯集成電路（寧波）有限公司的董事。他是本公司與獨立第三方成立的合資公司中芯聚源股權投資管理（上海）有限公司的董事長。高博士擁有逾30年財務管理工作經驗，曾於商業、工業及市政公用事業及綜合性企業等行業的國有、民營、合資企業及政府機構等不同類型的機構出任財務總監或財務負責人。高博士曾為大唐電信科技產業集團（電信科學技術研究院）總會計師、大唐投資管理（北京）有限公司及大唐電信集團財務有限公司的董事長、大唐高新創業投資有限公司執行董事，大唐電信科技產業控股有限公司董事兼高級副總裁。高博士為中國會計學會常務理事、中國企業財務管理協會常務理事、有研新材股份有限公司及中國建材檢驗認證集團戶份有限公司的獨立董事。高博士為南開大學管理學博士。他在金融投資領域有較深入的研究，曾主持多個重點研究項目並發表多篇著作。高博士亦是澳洲會計師公會資深會員，香港獨立董事協會創始會員、理事。

周梅生博士，現年60歲，於2017年10月12日被委任為公司執行副總裁。周博士加入本公司前擔任泛林半導體設備技術公司（Lam Research）中國區首席技術官，此前曾任本公司技術研發中心副總裁，並先後在新加坡特許半導體製造有限公司 （Chartered）,台灣積體電路製造股份有限公司 （TSMC），台灣聯華電子公司（UMC）以及全球晶圓代工有限公司（ Global Foundries）擔任各級管理職務。周博士分別於1982 年和1985 年獲得復旦大學理學學士學位和碩士學位，並於1990 年獲美國普林斯頓大學化學博士學位。通過20多年在世界前列晶圓代工廠的浸濡，在先進技術研發、技術合作、技術轉移和大規模量產驗證以及12 寸晶圓廠建廠、量產和營運方面積累了豐富的管理經驗並形成了獨到的管理理念。周博士專長於模塊設備，工藝和整合技術，迄今擁有130 多項國際專利，已在國際知名雜誌和會議上發表論文40 多篇。