MEMS

MEMS传感器

技术简介

中芯国际的MEMS方案主要集中在两大主流应用领域:第一种为开放式结构,例如MEMS麦克风,目前已经进入量产;第二种为封闭式结构,例如惯性传感器,于2016年第二季度进入量产。

特点

  • MEMS麦克风平台

  • 惯性MEMS平台

工艺选择

应用产品

  • 硅麦克风

  • 加速度计

  • 陀螺仪

  • 压力传感器

  • 显微镜

  • 超声波传感器

  • 射频器件